綠松石拋光液

 綠松石拋光液是以高純度硅粉為原料，經特殊工藝生產的一種高純度低金屬離子型拋光產品。    綠松石拋光液主要用于藍寶石襯底的拋光。還可廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光，如：硅片、化合物晶體、精密光學器件、寶石等的拋光加工。     

 綠松石拋光液的特點：  

 1.高拋光速率，利用大粒徑的膠體二氧化硅粒子達到高速拋光的目的。 

 2.高純度（Cu含量小于50 ppb），有效減小對電子類產品的沾污。 

 3.高平坦度加工， 綠松石拋光液是利用SiO2的膠體粒子進行拋光，不會對加工件造成物理損傷，達到高平坦化加工。

    綠松石拋光液根據pH值的不同可分為酸性拋光液和堿性拋光液。

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